荏原 ドライ真空ポンプEV-X型を発売 新たな設計思想適用

荏原製作所（本社：東京都大田区）は11月15日、半導体製造における中負荷プロセス向けドライ真空ポンプＥＶ－Ｘ型を発売したと発表した。これはデバイスの３次元化に伴い、広範囲のプロセスで安定稼働を実現するプロセスカバレッジ、小型・省エネルギー性能の追求などの要求に対応するため、ポンプモジュールおよび全体パッケージに新たな設計思想を適用した新製品。