2024/11/17

東レ 半導体製造向け水処理膜 再利用下水の尿素を9割除去

東レ(本社:東京都中央区)は11月14日、半導体の製造工程で使われる純度の高い水の需要増に応えるため、再利用する下水中の尿素などの除去率を高めた水処理膜を開発したと発表した。11月から国内のエンジニアリング会社向けに展開を始め、2025年度以降は販路を海外にも広げる。
半導体の製造工程では不純物が限りなくゼロに近い「超純水」が大量に必要となる。今回開発した逆浸透膜(RO膜)は、下水を再利用する場合を想定したもので、水道水の場合より濃度が高くなる尿素の除去率を、従来品比で2倍に高めた。水処理膜の穴の口径や穴の分布を工夫することで、除去率を従来品の8割弱程度から9割近くまで上げたとしている。